闭环版本定位精度高
产品特点
• 一维Z向运动
• 行程可达250μm
• 承载可达1kg
• 可选真空兼容版本
应用
• 计量/干涉/扫描
• 纳米定位
• 光盘驱动测试
• 半导体技术
• 质量保证测试
• 微加工/精密控制
技术参数
型号:P60.Z250
运动自由度:Z
标称行程范围(0~120V):200μm
行程范围(0~150V):250μm
传感器类型:SGS
闭/开环分辨率:10/3nm
闭环线性度:0.4%F.S.
重复定位精度:0.1%F.S.
空载谐振频率:260Hz
承载能力:1kg
静电容量:21.6μF
工作温度范围:-20~80℃
材质:钢、铝
重量(不含线):0.4kg
真空度:1×10^(-5)mbar
外形尺寸(长×宽×高):80×60×20mm
出线长:1.5m