特性
• 一维X向运动
• 行程达38μm
• 承载力达100g
• 可选闭环版本、真空版本
典型应用
• 纳米级精密位置调整
• 扫描显微
• 微操作
• 纳米定位/测量
• 微加工
高动态 高精度
技术参数
型号:P66A.X30
运动自由度:X
标称行程范围(0~120V):30μm
行程范围(0~150V):38μm
闭环传感器类型:SGS
闭/开环分辨率:10/5nm
闭环线性度:0.1%F.S.
闭环重复定位精度:0.1%F.S.
推/拉力:200/10N
运动方向刚度:10N/μm
空载谐振频率:2000Hz
闭/开环空载阶跃时间:5/1.5ms
承载能力:100g
静电容量:3.6μF
台体材料:铝
电缆长度:1.5m
推荐控制器
E01.D1
E53.D