晶圆调姿是通过各维度的精密定位将晶圆调整到正确位姿,以满足对晶圆进行各类工艺操作,在晶圆加工、晶圆检测和光刻等技术中广泛应用,且在应用中起到至关重要的作用,对芯片的制造质量和性能有直接影响。晶圆直径越大,可以承载的半导体芯片数量越多,制造成本将越低。因此,在半导体晶圆调姿相关应用中,多维度大负载的大型压电运动平台需求日益增多。
S51系列大型中空压电偏摆台
产品特点
产品应用
技术参数
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