P65系列高精度压电纳米定位台应用于纳米计量
产品特点
产品应用
纳米计量/测量、激光干涉、纳米光刻、扫描显微、纳米定位、纳米操控技术等。
技术参数
型号 |
P65.XY200Z50S/K |
运动自由度 |
X、Y、Z |
标称行程范围
(0~120V) |
XY160μm、Z40μm |
行程范围(0~150V) |
XY200μm、Z50μm |
传感器类型 |
SGS/- |
分辨率 |
XY3nm、Z2nm/
XY1nm、Z0.6nm |
闭环线性度 |
XY0.015%F.S.、
Z0.007%F.S./- |
闭环重复定位精度 |
XY0.017%F.S.、
Z0.006%F.S./- |
俯仰/偏航/滚动 |
<10μrad |
空载谐振频率 |
X260Hz/Y220Hz/Z280Hz |
带载谐振频率@500g |
150Hz |
闭/开环空载阶跃时间 |
100ms@500g/10ms |
承载能力 |
500g |
静电容量 |
XY13.6μF/Z3.2μF |
材质 |
钢、铝 |
重量(含线) |
1.24kg |
配套控制器