特点
· 三维XYZ向运动
· 行程100μm/轴
· 中心通孔Ø10mm
· 适用于真空应用
应用领域
· 扫描显微/表面测量
· 共焦显微/半导体测试
· 晶圆定位/图像处理与稳定
· 光纤定位/光学扫描
电压位移曲线
技术参数
型号:P12B.XYZ100
运动自由度:XYZ
行程范围(0~150V):100μm/轴
传感器类型:SGS
中心通孔:Ø10mm
外径:Ø49mm
静电容量:3.6μF/轴
承载能力:0.2kg
工作温度范围:-20~80℃
材质:钢、铝
外形尺寸(高):38.5mm
出线长:1.5m
传感/电压连接器:LEMO