01
特点
• 行程范围18μm
• 满行程下,使用频率可达95Hz
• 负载能力300g
• 可选配闭环传感器
• 直驱机构
02
典型应用
• 金刚石钻头进给
• 精密金属加工
• 高速工具控制
• FTS快刀伺服车削系统
• 工件定位
• 精密加工与研磨
• 大负载工件精密定位
03
相移时间
04
可选配闭环传感器
05
技术参数
型号:P92.X20
行程:18μm@95Hz(150V驱动)
9μm@190Hz
1μm@600Hz
闭环传感器:SGS
闭环线性度:0.1%F.S.
闭环重复定位精度:15nm
承载能力:300g
刚度:120N/μm
空载谐振频率:4000Hz
外形尺寸:L110×W95×H42mm
重量:2100g
工作温度:-20~80℃
出线长:1.5m,可加长
06
应用实例